紅亞產(chǎn)品中心
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用途
本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。
特點(diǎn)
●采用多功能高溫設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
●使用溫度高達(dá)2600,并可長時(shí)間穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
●采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉(zhuǎn)換系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。
●采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng),使得設(shè)備節(jié)能省電,諧波分量小,對外部設(shè)備無干擾。
●進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
●采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
●采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
●特制的過濾系統(tǒng),對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理;
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