紅亞產(chǎn)品中心
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氣相沉積爐的用途:
本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。
氣相沉積爐的特點:
采用多功能高溫設(shè)計,可實現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
使用溫度高達(dá)2600,并可長時間穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉(zhuǎn)換系統(tǒng),可實現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。
采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng),使得設(shè)備節(jié)能省電,諧波分量小,對外部設(shè)備無干擾。
進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
特制的過濾系統(tǒng),對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理;
氣相沉積爐的技術(shù)參數(shù):
參數(shù) 型號 | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||
工作區(qū)尺寸DXH(mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||
工作溫度(℃) | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||
工作電壓(V) | 三相380 | ||||||||||||
額定功率(KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||
工作氣氛 | 真空/氬氣/氮氣/氫氣/炳烷/石油天然氣 | ||||||||||||
以上化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。可將化學(xué)氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開,單獨做成化學(xué)氣相沉積爐和高溫石墨化爐。 |
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